採用頻率超過人聽覺上限（> 20 KHz）的超音波氣體軸承技術，通過對載台的震動，可在載台表面形成局部高壓氣膜，此基板即可被此高壓氣膜推升而造成無接觸的結果，該技術可在所有氣體環境中使用並可獨立使用於各式電子製程。

藉由超音波所產生具推力的壓縮氣膜，透過各種工藝的組合可產生各種非接觸的牽引力（包含結合機械手臂的負壓懸浮技術），以達到理想的非接觸輸送。

由於超音波軸承的物理學更符合流體機械物理。基板和聲波產生器振動表面間隙間的壓力通過氣膜的循環增減而有所改變。因此，如何建立一個均勻的振動模式，使懸浮力可以均勻分布在基板，這正是我們的核心競爭力之一。