采用频率超过人听觉上限（> 20 KHz）的超声波气体轴承技术，通过对载台的震动，可在载台表面形成局部高压气膜，此基板即可被此高压气膜推升而造成无接触的结果，该技术可在所有气体环境中使用并可独立使用于各式电子制程。

借由超声波所产生具悬浮力的压缩气膜，透过各种工艺的组合可产生各种无接触的牵引力（包含结合机械手的负压悬浮技术），以达到理想的无接触输送。

由于超声波轴承的物理学更符合流体机械物理。基板和声波产生器振动表面间隙间的压力通过气膜的循环增减而有所改变。因此，如何建立一个均匀的振动模式，使悬浮力可以均匀分布在基板，这正是我们的核心竞争力之一。